江蘇光刻膠光引發(fā)劑
目前使用的ZEP光刻膠即采用了前一種策略。日本瑞翁公司開(kāi)發(fā)的ZEP光刻膠起初用于電子束光刻,常用的商用品種ZEP520A為α-氯丙烯酸甲酯和α-甲基苯乙烯的1∶1共聚物。氯原子的引入可提高靈敏度,此外苯乙烯部分也可提高抗刻蝕性和玻璃化轉(zhuǎn)變溫度。采用后一種策略時(shí),常用的高分子主鏈有聚碳酸酯和聚砜。2010年,美國(guó)紐約州立大學(xué)的課題組報(bào)道了一系列以聚碳酸酯高分子為主體材料的光刻膠,高分子主鏈中具有二級(jí)或三級(jí)烯丙酯結(jié)構(gòu)可在酸催化下裂解形成雙鍵和羧酸。此外,他們還在高分子中引入了芳香基團(tuán),以增強(qiáng)其抗刻蝕性。可獲得36nm線寬、占空比為1∶1的線條,22.5mJ·cm?2的劑量下可獲得線寬為26nm的線條。光刻膠是一大類(lèi)具有光敏化學(xué)作用的高分子聚合物材料,是轉(zhuǎn)移紫外曝光或電子束曝照?qǐng)D案的媒介。江蘇光刻膠光引發(fā)劑
由于EUV光刻膠膜較薄,通常小于100nm,對(duì)于精細(xì)的線條,甚至不足50nm,因此光刻膠頂部與底部的光強(qiáng)差異便顯得不那么重要了。而很長(zhǎng)一段時(shí)間以來(lái),限制EUV光刻膠發(fā)展的都是光源功率太低,因此研發(fā)人員開(kāi)始反過(guò)來(lái)選用對(duì)EUV光吸收更強(qiáng)的元素來(lái)構(gòu)建光刻膠主體材料。于是,一系列含有金屬的EUV光刻膠得到了發(fā)展,其中含金屬納米顆粒光刻膠是其中的典型。2010年,Ober課題組和Giannelis課題組首度報(bào)道了基于HfO2的金屬納米顆粒光刻膠,并研究了其作為193nm光刻膠和電子束光刻膠的可能性。隨后,他們將這一體系用于EUV光刻,并將氧化物種類(lèi)拓寬至ZrO2。他們以異丙醇鉿(或鋯)和甲基丙烯酸(MAA)為原料,通過(guò)溶膠-凝膠法制備了穩(wěn)定的粒徑在2~3nm的核-殼結(jié)構(gòu)納米顆粒。納米顆粒以HfO2或ZrO2為核,具有很高的抗刻蝕性和對(duì)EUV光的吸收能力;而有機(jī)酸殼層不但是光刻膠曝光前后溶解度改變的關(guān)鍵,還能使納米顆粒穩(wěn)定地分散于溶劑之中,確保光刻膠的成膜性。ZrO2-MAA納米材料加入自由基引發(fā)劑后可實(shí)現(xiàn)負(fù)性光刻,在4.2mJ·cm?2的劑量下獲得22nm寬的線條;而加入光致產(chǎn)酸劑曝光并后烘,利用TMAH顯影則可實(shí)現(xiàn)正性光刻。浙江LCD觸摸屏用光刻膠光致抗蝕劑在選擇光刻膠時(shí)需要考慮化學(xué)性質(zhì)、照射時(shí)間、敏感度和穩(wěn)定性等因素,以確保所選的光刻膠能夠滿(mǎn)足制造要求。
除了錫氧納米簇之外,近年來(lái)以鋅元素為中心的納米簇也用于了EUV光刻。第一種鋅氧納米簇光刻膠由法國(guó)上阿爾薩斯大學(xué)的Soppera課題組在2016年報(bào)道。曝光后,鋅氧納米簇發(fā)生交聯(lián)聚集,在曝光區(qū)域形成金屬-氧-金屬網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),從而實(shí)現(xiàn)負(fù)性光刻。隨后,Xu等借鑒了這一結(jié)構(gòu),制備了3-甲基苯基修飾的Zn-mTA,將其用作EUV光刻膠。光致產(chǎn)酸劑產(chǎn)生的酸引發(fā)Zn-mTA納米簇的配體交換,從而改變納米簇表面的電荷分布,減弱了其在非極性溶劑中的溶解性,實(shí)現(xiàn)負(fù)性光刻。Zn-mTA呈現(xiàn)出良好的溶解性、成膜均一性,可以在47mJ·cm?2的劑量下獲得15nm的光刻線條。由于Zn-mTA具有更小的尺寸和更窄的尺寸分布,因此可以獲得比金屬氧化物納米顆粒光刻膠更高的分辨率。
一般的光刻工藝流程包括以下步驟:1)旋涂。將光刻膠旋涂在基底上(通常為硅,也可以為化合物半導(dǎo)體)。2)前烘。旋涂后烘烤光刻膠膜,確保光刻膠溶劑全部揮發(fā)。3)曝光。經(jīng)過(guò)掩模版將需要的圖形照在光刻膠膜上,膠膜內(nèi)發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)。4)后烘。某些光刻膠除了需要發(fā)生光反應(yīng),還需要進(jìn)行熱反應(yīng),因此需要在曝光后對(duì)光刻膠膜再次烘烤。5)顯影。曝光(及后烘)后,光刻膠的溶解性能發(fā)生改變,利用適當(dāng)?shù)娘@影液將可溶解區(qū)域去除。經(jīng)過(guò)這些過(guò)程,就完成了一次光刻工藝,后續(xù)將視器件制造的需要進(jìn)行刻蝕、離子注入等其他工序。一枚芯片的制造,往往需要幾次甚至幾十次的光刻工藝才能完成。一旦達(dá)成合作,光刻膠廠商和下游集成電路制造商會(huì)形成長(zhǎng)期合作關(guān)系。
感光樹(shù)脂經(jīng)光照后,在曝光區(qū)能很快地發(fā)生光固化反應(yīng),使得這種材料的物理性能,特別是溶解性、親合性等發(fā)生明顯變化。經(jīng)適當(dāng)?shù)娜軇┨幚?,溶去可溶性部分,得到所需圖像(見(jiàn)圖光致抗蝕劑成像制版過(guò)程)。光刻膠用于印刷電路和集成電路的制造以及印刷制版等過(guò)程。光刻膠的技術(shù)復(fù)雜,品種較多。根據(jù)其化學(xué)反應(yīng)機(jī)理和顯影原理,可分負(fù)性膠和正性膠兩類(lèi)。光照后形成不可溶物質(zhì)的是負(fù)性膠;反之,對(duì)某些溶劑是不可溶的,經(jīng)光照后變成可溶物質(zhì)的即為正性膠。利用這種性能,將光刻膠作涂層,就能在硅片表面刻蝕所需的電路圖形。聚合度越小,發(fā)生微相分離的尺寸越小,對(duì)應(yīng)的光刻圖形越小。普陀i線光刻膠曝光
按曝光波長(zhǎng)可分為紫外光刻膠、深紫外光刻膠、極紫外光刻膠、電子束光刻膠、離子束光刻膠、X射線光刻膠等。江蘇光刻膠光引發(fā)劑
1999年,美國(guó)3M公司Kessel等率先制備了側(cè)基含硅的高分子光刻膠PRB和PRC。他們利用含硅的酸敏基團(tuán)代替t-Boc基團(tuán),構(gòu)建了正性化學(xué)放大光刻膠體系。在EUV光下,PRC可在≤10mJ·cm?2的劑量下獲得0.10μm的光刻圖案。2002年起,Ober課題組合成了一系列側(cè)基帶有含硅基團(tuán)和含硼基團(tuán)的共聚物。兩類(lèi)光刻膠除了滿(mǎn)足光刻膠應(yīng)用的基本理化條件之外,都具有較高的EUV透光性,以及對(duì)氧等離子體的抗刻蝕性。其中含硅的光刻膠可獲得線寬180nm、占空比1∶1的密集線條,且具有較高的對(duì)比度,抗刻蝕性與酚醛樹(shù)脂相當(dāng);而含硼高分子的光刻性能還有待于進(jìn)一步優(yōu)化。此后,Ober課題組還報(bào)道了一種使用開(kāi)環(huán)異位聚合(ROMP)制備的含硅高分子,此類(lèi)光刻膠對(duì)EUV透光度較高,但由于含硅基團(tuán)的存在,他們?cè)赥MAH中的溶解性較差,因此需要在顯影液中加入30%的異丙醇,可得到150nm的光刻線條。江蘇光刻膠光引發(fā)劑
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O型密封圈與其他型式密封圈比較,具有以下優(yōu)點(diǎn):適合多種密封形式:靜態(tài)密封、動(dòng)態(tài)密封適合各種用途材料,尺寸和溝槽都已標(biāo)準(zhǔn)化,互換性強(qiáng)。適合多種運(yùn)動(dòng)方式:旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)、軸向往復(fù)運(yùn)動(dòng)或組合運(yùn)動(dòng)例如旋轉(zhuǎn)往復(fù)組合運(yùn) 。
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安全性是水電站微機(jī)液壓調(diào)速器的重要特點(diǎn)之一。該調(diào)速器采用了多重安全保護(hù)措施,能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備的工作狀態(tài),一旦發(fā)現(xiàn)異常情況,立即采取相應(yīng)的措施,確保設(shè)備和人員的安全。此外,該調(diào)速器還具有自動(dòng)故障診斷和報(bào) 。
黃銅帶的應(yīng)用:如果是由二種以上的元素組成的多種合金就稱(chēng)為特殊黃銅。如由鉛、錫、錳、鎳、鐵、硅組成的銅合金。黃銅有較強(qiáng)的耐磨性能。特殊黃銅又叫特種黃銅,它強(qiáng)度高、硬度大、耐化學(xué)腐蝕性強(qiáng)。還有切削加工的機(jī) 。
在進(jìn)行中間繼電器的操作時(shí),需要注意安全問(wèn)題,避免觸電或者短路等事故的發(fā)生。中間繼電器的操作可以實(shí)現(xiàn)對(duì)其他設(shè)備的控制,如電動(dòng)機(jī)、指示燈等。在進(jìn)行中間繼電器的操作時(shí),需要注意安全問(wèn)題,避免觸電或者短路等事 。
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氟利昂制冷系統(tǒng)的熱力膨脹閥,必須盡可能靠近蒸發(fā)器安裝。直通式的膨脹閥安裝在水平供液管段上,閥體直立,傘形波紋室朝上;角式膨脹閥的進(jìn)液管在閥體下方,傘形波紋室朝上,出液管水平。嚴(yán)禁傘形波紋室朝下倒立安裝 。
指示牌的用途:指示牌是用于提供方向、指示或警示的標(biāo)志,常被設(shè)置在公共場(chǎng)所、道路、商業(yè)區(qū)域等地方,以幫助人們找到目的地、了解交通規(guī)則、防止危險(xiǎn)等情況。指示牌的種類(lèi):指示牌可以根據(jù)其用途、材質(zhì)、形狀等特征 。