全自動晶圓盒清洗機（Fully Automated FOUP Cleaner）[1]:適用場景：用DIW/有機溶劑（可選）實現(xiàn)FOUP清潔，通過高速旋轉(zhuǎn)/紅外燈管/CDA等多種技術(shù)實現(xiàn)FOUP干燥。設備特點：清洗對象：6/8/12半自動FOUP/Cassette/POD。設備主要構(gòu)成：旋轉(zhuǎn)鼠籠(便捷式可180°旋轉(zhuǎn)后固定結(jié)構(gòu))、DIW噴淋系統(tǒng)、紅外加熱干燥系統(tǒng)、有機溶劑清洗系統(tǒng)（可選）等機構(gòu)組成。清洗能力：8只FOUP/小時（依配置的清洗腔真空腔數(shù)量而定）。干進干出。人工分離FOUP、POD，人工上下料及更換工裝。旋轉(zhuǎn)式離心清洗，可正反調(diào)速旋轉(zhuǎn)，對于產(chǎn)品表面的附著殘留物容易去除。工裝設有防呆機構(gòu)，防止人工將清洗件放置錯誤。鼠籠設有旋轉(zhuǎn)到位防呆檢測。動平衡偵測轉(zhuǎn)籃未定位保護，降低因人為導致設備損壞。主軸以伺服馬達控制達到穩(wěn)定加減速及轉(zhuǎn)速數(shù)值化設定控制，主軸震動值可監(jiān)測?？深A設多條Recipe，操作簡潔。選配SECS/GEM接口。可實現(xiàn)工件數(shù)據(jù)追溯，具有過點信息、狀態(tài)監(jiān)控、故障匯總、訂單下發(fā)等功能。選擇我司設備，讓你的生產(chǎn)更加節(jié)能、環(huán)保！海南片盒清洗機供應商家

產(chǎn)品介紹：FOUP清洗機是一種自動的離心清洗機，適用于所有類型的晶圓料盒（Smif Foup 、Fosb 、Cassette ）,可以實現(xiàn)良好的清洗和干燥效果。 裝載有待清洗的foup,在Chamber的中心轉(zhuǎn)軸上安裝和固定,在封閉的清洗室內(nèi)360 正 反轉(zhuǎn)動。由DI Water的表面張力、機械力進行Particle清洗, 離心＋熱風進行烘干等工藝組成，高效率、高質(zhì)量完成foup的ParticFOUP清洗機,Casstte清洗機,FOSB清洗機,離心清洗機,晶圓清洗機,清洗干燥,360正反轉(zhuǎn)動清洗機,離心熱風洪干清洗機。湖南半自動FOUP清洗機怎么收費選擇江蘇芯夢設備，讓你的生產(chǎn)更加智能化、自動化！

在FOUP內(nèi)去除顆粒物的方法可以采取多種措施，以下是一些常見的方法：噴氣清洗：使用壓縮空氣或氮氣等氣流，通過噴射到FOUP內(nèi)部，將顆粒物從FOUP表面吹走。噴氣清洗可以通過噴嘴、噴氣等設備來實現(xiàn)，通常結(jié)合定向氣流和適當?shù)臍饬魉俣?，以有效地去除顆粒物。超聲波清洗：超聲波清洗是一種利用高頻聲波震動的方法，可以將FOUP內(nèi)的顆粒物從表面剝離。超聲波的震動作用可以在微小的尺度上產(chǎn)生沖擊波，從而破壞顆粒物與FOUP表面的附著力，使其脫落。濕拭清洗：濕拭清洗使用濕潤的擦拭布或棉簽等工具，直接擦拭FOUP的表面，將顆粒物吸附到擦拭物上。這種方法適用于較大或較粘附的顆粒物，可以通過多次擦拭和更換擦拭物來提高清潔效果。靜電除塵：由于FOUP的材料通常具有一定的靜電特性，可以利用靜電除塵技術(shù)去除顆粒物。靜電除塵通常通過在FOUP內(nèi)部放置靜電除塵裝置，利用靜電作用將顆粒物吸附到帶電的部件上，然后移除這些帶電部件以去除顆粒物。過濾器和過濾介質(zhì)：在FOUP的設計中，可以使用過濾器和過濾介質(zhì)來阻止顆粒物進入FOUP內(nèi)部。這些過濾器通常位于FOUP的入口和出口處，以過濾空氣中的固體顆粒和其他污染物，從而減少FOUP內(nèi)的顆粒物數(shù)量。

FOUP內(nèi)的污染物可以來自多個來源，以下是其中一些常見的來源：過程殘留物：在半導體制造過程中，涉及到各種化學物質(zhì)、溶劑、清洗劑等。這些物質(zhì)可能在晶圓處理過程中殘留在FOUP內(nèi)，成為污染物的來源。顆粒物：在半導體制造環(huán)境中，微小顆粒是一個主要的污染源。這些顆?？梢詠碜钥諝庵械幕覊m、工作環(huán)境的雜質(zhì)、設備的磨損等。這些顆粒物有可能通過FOUP的開口進入FOUP內(nèi)部，導致污染。人為操作：在FOUP的處理、維護和運輸過程中，如果操作不當，例如沒有正確地清潔操作工具、使用臟手觸摸FOUP等，都會引入污染物。傳輸和存儲過程：FOUP在制造過程中需要經(jīng)過多個環(huán)節(jié)的傳輸和存儲，包括機器之間的傳輸、暫存庫等。在這些過程中，如果傳輸設備或存儲環(huán)境不潔凈，或者FOUP密封不嚴密，都會導致污染物進入FOUP內(nèi)。外部環(huán)境污染：FOUP在制造過程中可能暴露在環(huán)境中，例如在潔凈室內(nèi)。如果潔凈室內(nèi)的空氣質(zhì)量不佳，存在空氣中的微塵和顆粒物可能會進入FOUP內(nèi)部，并成為污染源。芯夢設備采用先進的自動化控制技術(shù)，提升生產(chǎn)效率！

FOUP清洗機的清洗通常涉及以下幾個步驟：預處理：在FOUP清洗機中，F(xiàn)OUP首先會經(jīng)過預處理步驟，以去除表面的大顆粒和雜質(zhì)。這可能涉及使用噴淋裝置、超聲波清洗器等設備，以噴射和震動的方式清洗FOUP表面。清洗劑噴灑：清洗劑會被噴灑到FOUP表面，以去除附著在表面的污染物、油脂和有機物。清洗劑通常是一種化學溶液，具有去除污染物的特性。機械攪拌：一些FOUP清洗機可能具有機械攪拌功能，通過旋轉(zhuǎn)或攪拌FOUP，在清洗劑的作用下，進一步加強清洗效果。機械攪拌可以幫助清洗劑更好地接觸到FOUP表面的污染物，并將其徹底去除。沖洗：在清洗劑作用一段時間后，清洗機會進行沖洗步驟，將清洗劑和被去除的污染物沖洗掉。通常使用清潔的水源進行沖洗，以確保殘留的清洗劑和污染物完全被去除。干燥：沖洗后，F(xiàn)OUP會進入干燥步驟，以去除殘留的水分。這可以通過噴氣裝置、熱風等方式實現(xiàn)。干燥是為了確保FOUP表面徹底干燥，避免水分殘留引起的污染或其他問題。檢測和質(zhì)量控制：在清洗過程的不同步驟中，可以使用傳感器、儀器和監(jiān)測設備對FOUP進行檢測和質(zhì)量控制。這可以包括檢測潔凈度、顆粒檢測、殘留物檢測等，以確保清洗效果符合要求。芯夢設備具有高精度生產(chǎn)功能，確保產(chǎn)品質(zhì)量！上海半自動FOSB清洗機規(guī)格尺寸

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Foup清洗機是半導體制造中不可或缺的設備，用于清洗和處理晶圓載具（Foup）。我們的Foup清洗機采用智能化設計，滿足您對生產(chǎn)的多重需求。外觀精美，質(zhì)感上乘，提升生產(chǎn)品質(zhì)。采用品質(zhì)材料，使用壽命長，是您的長久伙伴。具有多種智能功能，助您輕松應對生產(chǎn)挑戰(zhàn)。操作簡單，維護方便，降低使用成本。我們的晶圓盒具有高精度功能，確保生產(chǎn)體驗。采用先進的自動化控制技術(shù)，提升使用效率。選擇我們的Foup清洗機，讓您的晶圓生產(chǎn)更加便捷、舒適！海南片盒清洗機供應商家

芯夢擁有近12000平米的研發(fā)生產(chǎn)基地，包括超過3000平米的千級潔凈室和萬級裝配車間，配備有精密的研發(fā)檢測儀器設備。芯夢的創(chuàng)始團隊成員均為半導體裝備領(lǐng)域從業(yè)數(shù)十年的專業(yè)人才，目前芯夢已經(jīng)建立了一支多學科交叉、實力雄厚的技術(shù)研發(fā)團隊，目前公司擁有員工總數(shù)290余人，其中技術(shù)研發(fā)人員90余人，售后服務人員近40人。我們高度重視知識產(chǎn)權(quán)保護，主營產(chǎn)品已獲得數(shù)十項授權(quán)專利，包括近20件授權(quán)發(fā)明專利，并通過了知識產(chǎn)權(quán)管理體系認證。

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